Описание

Установка SciaClean 1500 предназначена для очистки больших трехмерных подложек методом термической десорбции, вакуумной десорбции и плазменной обработки. Основной сферой применения является сверхчистая очистка оптических компонентов и медицинских объектов.

Установка SciaClean 1500 доступна с отдельными системами нагрева для камеры и для подложки. Это обеспечивает очень хорошее базовое давление, которое необходимо для количественного определения даже небольших остаточных загрязнений на подложке методом масс-спектроскопии. Очистка может быть улучшена за счет выбора количества источников плазмы в соответствии с требованиями заказчика. Система транспортировки может использоваться для подложек весом до 3 тонн.

Свойства:

• Раздельный нагрев камеры и подложки
• Выбираемое количество источников плазмы
• Система транспортировки для загрузки больших 3Dподложек
• Контроль качества очистки с помощью масс-спектрометра

Области применения:

• Сверхвысокая степень очистки рентгеновской оптики
• Стерилизация медицинских объектов (например, имплантатов и стентов)
• Очистка и обезжиривание металлических поверхностей электрических устройств

Технические характеристики