Описание:

Система для массового производства ультрафиолетовых светодиодных чипов. Возможна высокотемпературная обработка (свыше 1400℃).

• HTLF (высокотемпературная герметичная распылительная головка) (Вертикальный впрыск газа/нержавеющая сталь)
• SBCTM (камера с датчиком термообработки)
• Графитовый датчик с покрытием из карбида тантала
• Вместимость:
  • 6 x 2 дюйма
  • 8 x 4
  • 4 x 6 дюймов (в разработке)
• Радиочастотный индукционный нагрев
• Индукционная катушка с водяным охлаждением и настройкой профиля
• Управление температурным режимом: ≥ 1400℃, измерение и контроль пирометром
• Стандартное рабочее давление: 30 ~ 600 мм. рт.ст.